流(liú)量測量技(jì)術之 微小流量(liang) 的測(ce)量     
半(bàn)導體制造(zao)業、生物工(gong)程、精細化(hua)工等的興(xìng)起，使流量(liang)測量向低(dī)端延伸，小(xiǎo)流量計流(liu)量的要求(qiú)在上世紀(ji) 80 ∽ 90 年代凸顯(xiǎn)起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚(shang)無*的定義(yì)和界限，小(xiǎo)流量因應(yīng)用領域而(ér)異是🥵一個(gè)模糊的概(gài)念。管道小(xiǎo)流量測量(liang)體現于管(guǎn)徑小和流(liu)速低兩個(ge)層次，就流(liu)程工業而(ér)言，習慣上(shàng) DN10 甚至(zhi) DN15 以下(xià)管徑流量(liang)測量稱之(zhī)小流量測(cè)量，通常其(qí)流量值液(ye)體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀(yi)表滿度流(liu)量時的流(liu)速低于 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方法
傳統小(xiǎo)流量測量(liang)技術節流(liú)差壓 ( 層流 ) 法、浮子法(fǎ)和容積法(fa)等有了的(de)改進，新測(cè)量技術如(ru)超聲法、熱(rè)法、科裏奧(ao)利法等也(yě)有成效地(dì)應于液體(tǐ)和氣🌈體小(xiao)🎯流量測量(liang)。
2 、特點(dian)
微小(xiǎo)流量與一(yi)般流量測(cè)量相比較(jiào)，具有以下(xia)特點。
1) 雷諾數低(di)
一般(ban)管道流動(dong)均爲紊流(liú)流動，流量(liàng)儀表也是(shi)針對紊流(liú)流動😘态設(she)計的，而小(xiao)流量儀表(biǎo)因管徑小(xiǎo)常處于層(céng)流流動 ( 例如管(guan)内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流(liu)過渡區流(liú)态流動，小(xiao)流量測量(liàng)受使用中(zhōng)流體黏度(dù)🐇變化影響(xiǎng)頗大。
2) 要用實際(ji)使用流體(tǐ)校準
液體流量(liang)儀表一般(bān)用水校準(zhǔn)，氣體用空(kong)氣校準。若(ruo)知道實際(ji)測量流體(tǐ)與校準流(liú)體間某些(xie)物性不同(tong)對示值有(yǒu)規律變化(hua)時，中大管(guan)徑流量儀(yi)表常以适(shi)當系數修(xiū)正。但有些(xie)小流量儀(yí)表受黏度(dù)等流體物(wù)🔴性影響大(da)🈲，須以實際(jì)❤️使用流體(tǐ)校準。所幸(xing)流量小，用(yòng)實際使用(yòng)流體校準(zhǔn)難度🔞不大(dà)，但在作有(yǒu)害性流體(tǐ)校準時應(ying)注意安全(quan)和環境污(wū)染。
3) 要(yao)求測量時(shí)防止污染(ran)流體
若測量潔(jié)淨氣體和(hé)純水常不(bu)允許接觸(chù)流體的儀(yí)表零件材(cai)料💯析出離(lí)子，例如半(bàn)導體制備(bei)中儀表不(bu)能用金屬(shǔ)和玻璃制(zhi)成，隻能用(yong)塑料。流體(tǐ)中也不允(yǔn)許混入活(huo)動件的磨(mó)蝕塵粒。流(liu)量儀表流(liu)通通道要(yào)盡可能簡(jiǎn)單，不應有(you)潴留 ( 指液體在(zai)體内不正(zheng)常地聚集(jí)停留 ) 部位，防止(zhi)潴留介質(zhì)變質。
4) 氣泡和塵(chén)埃附着的(de)影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加(jia)，液體中微(wēi)細氣泡易(yi)在管系流(liú)動過🈲程中(zhōng)✨積㊙️聚變大(da)，使測量時(shi)指示不穩(wěn)，度下降。流(liú)體中❤️塵埃(ai)附着測量(liàng)元件也要(yao)影響測量(liàng)值，例如浮(fú)子流量計(ji)的浮🐪子上(shàng)沉積有肉(ròu)眼覺察不(bu)出的附着(zhe)層也會影(ying)響示值。
5) 流量儀(yi)表品種使(shi)用上受到(dào)一定限制(zhì)
在衆(zhōng)多測量原(yuán)理流量儀(yi)表中，因各(gè)種原因小(xiao)流量應用(yong)受到一些(xie)限制，當前(qián)能應用于(yú)小流量的(de)品種如表(biao)格所示