産(chan)品時間：2025-12-24
FS4001系列測量氣體流(liu)量傳感器是專門(men)爲各類小流量📧氣(qì)體的測量和過程(chéng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhu)研🈲發的微機電系(xì)統（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于各(gè)類清🌈潔氣體。
簡介：
FS4001系列(liè)測量氣體流量傳(chuán)感器 是專門(men)爲各類小流量氣(qì)體的測量和過程(chéng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電🤟系(xi)統（ MEMS
FS4001系列(lie)測量氣體流量傳(chuan)感器 适用于(yú)各類清潔氣體。*的(de)封裝技術使之可(kě)用于各類♻️管徑，成(chéng)本低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償(chang)，可替代容積式或(huò)壓差式的傳統流(liú)量傳感器。
-
傳感器靈敏度高(gāo)
,
傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量
,
無需溫度壓力補(bu)償
,
保證了傳(chuán)
-
感器的高精(jīng)度計量
-
在單(dan)個芯片上實現了(le)多傳感器集成
,
傳感器的零點(diǎn)穩定度高
-
全量程高精确(que)度和優良的重複(fu)性
低功耗
-
主(zhu)要參數：
|
性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通 徑 |
1.0 |
|
|
|
|
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程比 |
>100：1 |
|
|
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
|
|
|
|
0.25 |
%讀數 |
|
|
零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
輸出飄移 |
|
%/oC |
|
|
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
||
|
工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
|
|
|
|
350 |
300 |
pa |
|
|
MPa |
||
|
工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲溫度(dù) |
|
||
|
工作濕度 |
<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露） |
|
|
|
機械接口(kǒu) |
|
||
|
校準方式 |
|
||
|
15 |
g |
||
•
•