産品(pin)時間:2025-12-25
FS4001系列小流(liú)量氣體質量(liang)流量傳感器(qi)是專門爲各(ge)類小流量氣(qì)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這一(yi)系列傳感器(qì)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)的微機電系(xi)統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制作(zuo),适用于各類(lei)清潔氣體。*的(de)封✂️裝技術使(shǐ)之可用于各(ge)類管徑🐇,成本(běn)低、易安裝、不(bú)需要溫度壓(ya)力補償,可替(ti)代容積式或(huo)壓差式的傳(chuán)統♈流量傳感(gǎn)器❌。
産品(pǐn)簡介:
FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhi)而設🈲計的。這(zhè)一系列傳感(gǎn)器均采用本(běn)公司自主研(yan)發🏃🏻的微機電(dian)系統(MEMS)流量傳(chuán)感✊芯片來制(zhi)作,适用于各(ge)類清潔氣體(ti)。*的封👅裝技術(shu)⭐使之可用于(yu)各類管徑,成(cheng)本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度(du)壓力補償,可(ke)替代容積式(shì)或壓差式的(de)傳統流量傳(chuan)感🥰器。
産品特(tè)點 :
FS4001系列(lie)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuan)感器
靈敏度(dù)高,有小的始(shǐ)動流量傳感(gan)器芯片采用(yong)熱質量流量(liàng)計量,無需溫(wen)度壓力補償(chang),保證了傳感(gan)器的🐕高精度(du)計量在單個(ge)芯片💯上實現(xian)了多傳感器(qi)集成,使傳感(gan)器的量程比(bǐ)大大提高傳(chuán)感器📱的零點(dian)穩定度高全(quán)量㊙️程高穩定(ding)性全量程高(gāo)精确度和優(yōu)良的重複性(xìng)低功耗低壓(yā)損響應時間(jian)快
主要參數(shu):
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性能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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精(jing) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀(dú)數 |
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零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄(piao)移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式 |
線性(xing),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大(da)流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(dà)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chu)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH(無結冰、無(wu)凝露) |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準(zhun)方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重(zhong)量 |
15 |
g |
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機械尺寸(cùn):
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