産品時間:2025-12-26
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀表(biǎo)有限🏃🏻♂️公司專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(he)過程控制而設(she)計的。這一系列(lie)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yán)發的微✉️機電系(xì)統(MEMS)流量傳感芯(xin)👨❤️👨片來制作,适用(yong)于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術(shù)使之可用于各(gè)類管徑,成本低(dī)、易安裝、不需要(yao)溫度壓力補償(cháng),可替代容積式(shi)或壓差式的傳(chuan)統流量傳感器(qi)。
微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(ji)
産品簡介(jiè):
FS4001系列小流(liu)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guǎng)州迪川儀器儀(yi)表👉有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liú)量氣體的測量(liàng)🔆和過程控⁉️制而(ér)設計🐇的。這一系(xì)列傳感器均采(cai)用本公司自主(zhu)研發的微機電(dian)系統(
MEMS)流量(liang)傳感芯片來制(zhì)作,适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(feng)裝技術使🐅之可(ke)用于各類管徑(jing),成本低、易安裝(zhuang)、不需💰要溫💋度壓(yā)力補償,可替代(dài)容積式或壓差(chà)式的傳統流量(liang)傳感器。
産(chǎn)品特點:
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳(chuán)感器靈敏度高(gao)
,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓力補償(cháng)
,保證了傳(chuán)
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gǎn)器集成
,使(shi)傳感器的量程(cheng)比大大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量(liang)程高精确度和(he)優良的重複性(xing)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數:
|
性能參數 |
FS4001 |
單位 |
|
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性, RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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|
zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH(無結冰、無(wú)凝露) |
|
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機械(xiè)接口 |
可拆(chai)式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣(或其他(tā)氣體), 20oC, 101.325kPa |
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|
重量 |
15 |
g |
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訂貨(huò)詳情請: 85628522
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