氣體流量監測(ce)傳感器

産品簡介：

FS4001系列(lie) 氣體流量監測(ce)傳感器 是(shi)專門爲各類小(xiao)流量氣體的測(cè)量和過程控制(zhì)而設計的。這🔴一(yī)📞系列傳感器均(jun)采用本公司自(zì)主研發的微機(ji)電系統（ MEMS ）流(liu)量傳感芯片來(lái)制作。

FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測傳感(gan)器 适用于(yú)各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shi)之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wen)度壓力補償，可(kě)替代容積式或(huo)壓差式♋的傳統(tong)流量傳感器。

産品特(te)點：
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有極小的始動(dong)流量
  - 傳感(gǎn)器芯片采用熱(re)質量流量計量(liàng) , 無需溫度(dù)壓力補償 , 保證了傳
  - 感器的高精度(du)計量
  - 在單(dān)個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集(ji)成 , 使傳感(gan)器的量程比大(dà)大提高
  - 傳(chuán)感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全(quan)量程高穩定性(xìng)
  - 全量程高(gāo)精确度和優良(liang)的重複性
  - 低功耗
  - 低(dī)壓損
  - 響應(ying)時間快

機(jī)械尺寸：

主要參數：

性(xìng)能參數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機械(xiè)接口	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g