産品時間：2025-12-24
FS4001系列實驗室(shì)氣體流量傳感器(qi)适用于各類清潔(jié)氣✨體。*的封裝技👄術(shù)使之可用于各類(lei)管徑，成本低、易安(ān)❓裝、不需要溫度壓(yā)力補償🚩，可替代容(róng)積式或壓差式的(de)傳統⛷️流量傳感器(qì)。
産品(pǐn)簡介：
FS4001系列實驗室(shi)氣體流量傳感器(qi) 是專門爲各(gè)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhi)而🌐設計🐉的。這一🌏系(xì)列傳感器均采用(yong)本公司自主研發(fā)✨的微機電系統（ MEMS
FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量傳感(gan)器 适用于各(gè)類清潔氣體。*的封(feng)裝技術使之可用(yòng)于各類管徑☔，成本(ben)低、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償，可(ke)替代容積式♋或壓(ya)差式的傳統流量(liang)傳感器。
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傳(chuan)感器靈敏度高
,
傳感器(qì)芯片采用熱質量(liàng)流量計量
,
無(wu)需溫度壓力補償(cháng)
,
保證了傳
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感器的高精度(du)計量
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在單個(ge)芯片上實現了多(duō)傳感器集成
,
傳感器的零點穩(wěn)定度高
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全量程高精确度(dù)和優良的重複性(xing)
低功耗
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機械(xiè)尺寸：
主(zhǔ)要參數：
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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±30 |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大工作壓力 |
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MPa |
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-10 ~ +55 |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
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空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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